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英亚体育app官网入口 2nm 半导体工艺迎来新龙套,只需一个家用微波炉

时间:2022-09-18 13:03 点击:106 次

英亚体育app官网入口 2nm 半导体工艺迎来新龙套,只需一个家用微波炉

IT之家 9 月 12 日讯息,近日,康奈尔大学的科学家们使用一个矫正的家用微波炉龙套了 2nm 半导体工艺分娩的环节辞谢,论文已发表于 Applied Physics Letters。

为了使半导体工艺不停松开,硅必须掺杂越来越高的磷浓度,以促进准确和相识的电流传输。就当今而言,跟着业界启动大规模分娩 3nm 组件,传统的退火要道仍然灵验。干系词,跟着精度进一步进步,需要确保高于其在硅中的均衡融解度的磷浓度。除了罢了更高的浓度水平外,一致性关于制造功能性半导体材料也至关伏击。

台积电此前估计,微波可用于退火(加热)经由,以促进增多磷的掺杂浓度。干系词,畴前的微波加热源一样会产生驻波,新闻中心从而不利于加热的一致性。简便来说,畴前的微波退火拓荒加热本色物会加热不均匀。

康奈尔大学的科学家得到了台积电的解救,开展微波退火磋商。本周早些时辰,康奈尔大学发表了一篇由此产生的论文,科学家们得出论断,由于他们先进的微波退火要道,如故“得胜克服了高于融解度的高而相识掺杂的基本挑战”。

该论文名为“通过微波退火对掺杂进步其融解度极限的磷的纳米片硅进行灵验且相识的活化”。该手艺适用于最新的纳米片晶体管手艺,而台积电如故暗示将使用 2nm 的纳米片来分娩环栅场效应晶体管 (GAAFET)。

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IT之家了解到,该论文的主要作家,材料科学与工程系磋商诠释 James Hwang 告诉康奈尔新闻博客:“这种新的微波要道可能使台积电和三星等最初制造商大意松开到 2nm。”

这项磋商将络续进行,况且如故得回了进一步的资金。

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